有機ELディスプレイの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130790
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293589
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】有機ELディスプレイを製造する場合に、多種多様なパターン形状を有する発光層を精度良く形成する方法を提供するものである。【解決手段】陰極と、一又は複数の有機物質からなる発光層と、陽極と、透光性基板とを有する有機EL素子を一又は複数配列する有機ELディスプレイの製造方法であって、透光性基板上に、陽極材料、一又は複数の有機物質、陰極材料、保護膜、をそれぞれ順次成膜して積層する工程と、積層された保護膜上にレジストを成膜して、発光層に対応する形状をパターニングする工程と、積層された陽極材料、一又は複数の有機物質、陰極材料、保護膜を、レジストが有するパターン形状に対応してドライエッチング加工形成する工程と、を有し、以上の工程を1又は複数回繰り返すことにより、有機EL素子を一又は複数配列することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

陰極と、一又は複数の有機物質からなる発光層と、陽極と、透光性基板とを有する有機EL素子を一又は複数配列する有機ELディスプレイの製造方法であって、前記透光性基板上に、陽極材料、前記一又は複数の有機物質、陰極材料、保護膜、をそれぞれ順次成膜して積層する工程と、積層された前記保護膜上にレジストを成膜して、前記発光層に対応する形状をパターニングする工程と、積層された前記陽極材料、前記一又は複数の有機物質、前記陰極材料、前記保護膜を、前記レジストが有するパターン形状に対応してドライエッチング加工形成する工程と、を有し、以上の工程を1又は複数回繰り返すことにより、前記有機EL素子を一又は複数配列する有機ELディスプレイの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

多色オーガニック発光素子
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-519830 出願人：ザトラスティーズオブプリンストンユニバーシティ

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