特許

J-GLOBAL ID：200903087078222771

ステージ位置計測および位置決め装置

発明者： 松本 英雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-263489
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101362
出願日： 2002年09月10日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】干渉計による計測位置決め誤差と、回折格子を用いる位置検出センサーによるアッベの原理に基づく誤差の両者を排除し、気体ゆらぎの影響低減と計測精度の向上を図るステージ位置計測および位置決め装置である。【解決手段】装置は、直動案内機構を有するステージ1,2と、レーザー干渉計3a,3bと、レーザー干渉計よりも気体の屈折率変化に影響を受け難い位置検出センサー8a,9a;8b,9bという一軸方向に2つの位置計測手段を有する。ステージ位置決め目標に対する2種類の位置計測手段の信号から得られるずれ量について、レーザー干渉計3a,3bの光電信号から得られる位置ずれ量は、低周波数領域の位置決め制御に用い、位置検出センサー8a,9a;8b,9bの信号から得られる位置ずれ量は、高周波数領域の位置決め制御に用いる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

直動案内機構を有するステージと、レーザー干渉計と、該レーザー干渉計よりも気体の屈折率変化に影響を受け難い位置検出センサーという一軸方向に2つの位置計測手段を有するステージにおいて、ステージ位置決め目標に対する前記2種類の位置計測手段の信号から得られるずれ量について、レーザー干渉計の光電信号から得られる位置ずれ量は、0Hzから所定の周波数までの低周波数領域のフィードバック位置決め制御に用い、また、位置検出センサーの信号から得られる位置ずれ量は、前記所定の周波数以上の高周波数領域のフィードバック位置決め制御に用いる様に構成されたことを特徴とするステージ位置計測および位置決め装置。

IPC (1件)：

G01B11/00

FI (1件)：

G01B11/00 G

Fターム (8件)：

2F065AA09 ,  2F065DD04 ,  2F065DD11 ,  2F065FF16 ,  2F065FF17 ,  2F065FF55 ,  2F065GG05 ,  2F065LL42