特許
J-GLOBAL ID：200903087079900730
マスク外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-273261
公開番号（公開出願番号）：特開平8-137091
出願日： 1994年11月08日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 マスク外観検査において、作業者の手によるペリクル上のキズ、異物付着を防止するとともに、最適な姿勢での迅速な検査を可能にする。【構成】 箱状本体11にマスクケース台13に設ける。チルトアーム25を介して任意な姿勢に設定可能な検査ステージ23を、マスクケース台13の近傍に設ける。マスクケース台13にセットされたマスクケースに対し、マスク15の取り出し及び収納を行うとともに、マスクケース台13と検査ステージ23との間におけるマスク15の搬送を行う搬送アーム21を、マスクケース台13の近傍に設ける。検査ステージ23上に保持されたマスク15の表裏を反転する反転アーム41を、検査ステージ23の近傍に設ける。
請求項（抜粋）：
ペリクルが張設されたマスクを自動搬送するとともに、前記ペリクルの斜光目視検査のために該マスクを任意の姿勢に設定可能とするマスク外観検査装置であって、上面が開口した箱状本体にマスクケース台を設け、XYZ軸方向の枢軸部で構成されたチルトアームを介して任意な姿勢に設定可能な検査ステージを該マスクケース台の近傍に設け、マスクケース台にセットされたマスクケースに対してマスクの取り出し及び収納を行うとともにマスクケース台と該検査ステージとの間におけるマスクの搬送を行う搬送アームを前記マスクケース台の近傍に設け、前記検査ステージ上に保持されたマスクの表裏を反転する反転アームを前記検査ステージの近傍に設けたことを特徴とするマスク外観検査装置。
IPC (4件)：
G03F 1/08
, G01N 21/84
, G01N 21/88
, H01L 21/027
