特許

J-GLOBAL ID：200903087080054495

機能性材料放出装置および方法

発明者： ラメッシュ ジャガナサン ,  グレン シー アービン ジュニア ,  セシャドリ ジャガナサン ,  スリダール サダシバン ,  スレシュ サンデラジャン ,  ジョン イー ルーピン ,  ゲイリー イー メーツ
出願人/特許権者： イーストマン コダック カンパニー
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-037907
公開番号（公開出願番号）：特開2002-361125
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2002年12月17日
要約：

【要約】【課題】 機能性材料のレシーバ上への高速で正確且つ精密な堆積を可能にする技術を提供する。【解決手段】 機能性材料をフォーカスする装置及び方法が提供される。この装置10は、機能性材料との熱力学的安定混合状態にある流体の加圧ソース11を含む。入口と出口とを有する射出装置13が加圧ソース11に入口にて接続されている。射出装置13は、機能性材料のコリメートビームを生成するように構成されており、流体は、射出装置13の出口の手前またはそれを越えた位置においては気体状態にある。気体状態の機能性材料はレシーバ14に向けて放出される。

請求項（抜粋）：

機能性材料を放出する装置であって、流体と機能性材料との熱力学的安定混合物の加圧ソースと、入口と出口とを有する射出装置と、を備えており、前記射出装置は、前記加圧ソースに前記入口にて接続され、かつ機能性材料のコリメートビームを生成するように構成されており、前記流体は、前記射出装置の前記出口を越えた位置において気体状態にあることを特徴とする装置。

IPC (3件)：

B05B 9/04 ,  B05B 1/24 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

B05B 9/04 ,  B05B 1/24 ,  H01L 21/306 J

Fターム (20件)：

4F033AA01 ,  4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033BA06 ,  4F033CA01 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033GA02 ,  4F033HA02 ,  4F033NA01 ,  4F033RA02 ,  4F033RA04 ,  4F033RD04 ,  4F033RD09 ,  4F033RD10 ,  5F043DD05 ,  5F043DD06 ,  5F043DD07 ,  5F043DD10 ,  5F043EE07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-212107
  
• 特開平2-212107
  
• 特開平2-212107