特許
J-GLOBAL ID：200903087082696338
短波長光発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-026561
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220576
出願日： 1995年02月15日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【構成】 励起光源1から発振されたレーザ光は、波長特性を備える共振器3で共振されると共に、幅及び/又は深さが光波の伝搬方向に沿って変化された光導波路、又は周期が光波の伝搬方向に沿って変化された周期構造を有している第2高調波発生素子2に入射されて、第2高調波レーザ光が発生されて出射される。【効果】 励起光源から発振されるレーザ光の波長範囲と第2高調波発生素子で発生される第2高調波レーザ光の波長範囲とを、特別の制御を行うこと無く、容易に合わせることができ、安定した第2高調波レーザ光を得ることができる。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発振する励起光源と、波長特性を備え、上記励起光源からのレーザ光を共振動作させる1対の共振手段と、上記共振手段の内部に置かれ、上記励起光源からのレーザ光を入射して、上記共振手段の共振可能な波長範囲よりも広い波長範囲で高調波を発生する高次高調波発生素子とを備えて成ることを特徴とする短波長光発生装置。
IPC (3件)：
G02F 1/37
, G02F 1/035
, H01S 3/109
G02F 1/37
, G02F 1/035
, H01S 3/109
