特許
J-GLOBAL ID：200903087090635020
成膜方法、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-263364
公開番号（公開出願番号）：特開2006-075747
出願日： 2004年09月10日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：
【課題】 基板上に、精度の高い平坦度で機能性膜(着色膜)を形成することが可能な、液滴吐出法を利用した成膜方法、および、精度の高い平坦度で着色膜が形成されたカラーフィルタとカラーフィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】 微小な連続気孔を有する基板2の表面に隔壁3を形成し、隔壁3によって仕切られた区画内に、色材を含む液状体を、液滴吐出法により吐出させる。その後、区画内の液状体に含まれる分散媒を、基板2の裏面側から蒸発させることにより、着色膜8を形成する。この過程において、基板2の表面側からの分散媒の蒸発は抑えられ、着色膜8は精度の高い平坦度で形成される。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
通気性を有する基板上に成膜する成膜方法であって、
液滴吐出法によって機能液を前記基板上に配置する工程と、
前記基板上に配置された前記機能液を乾燥させることによって成膜する成膜工程と、を有し、
前記成膜工程において、前記機能液の少なくとも一部を、前記基板の機能液が配置されていない面から蒸発させることを特徴とする成膜方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B05D1/26 Z
, G02B5/20 101
2H048BA02
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075BB24Z
, 4D075BB56Z
, 4D075CB07
, 4D075DA06
, 4D075DA25
, 4D075DB13
, 4D075DB31
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EC11
, 4D075EC17
