特許
J-GLOBAL ID：200903087095572280

2次元アレイ型放射線検出器とそのX線遮蔽壁の製造方法

発明者：
戸波 寛道

戸波 寛道 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 喜多 俊文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125823
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318283
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：
【要約】【課題】 2次元方向の散乱X線を除去し、画素ピッチとの干渉縞、グリッド板傾斜による濃淡縞を発生しない2次元アレイ型放射線検出器を提供する。【解決手段】 板状の感光性ガラス1に、フォトマスクを用いて、X線検出部の画素ピッチのn倍(nは整数)となるピッチで、紫外線光源により光露光を行い、加熱現像処理で結晶化させ、再露光後、エッチングしてX線入射方向に格子溝をつくり、X線吸収材を充填して表面に2次元状の表面縦溝遮蔽2と表面横溝遮蔽3を、裏面に2次元状の裏面縦溝遮蔽2aと裏面横溝遮蔽3aを形成したグリッドを製作する。そして、TFTガラス基板5上に設けられたシンチレータ7と光電変換素子6と走査回路8からなるX線検出部に、画素と一致するようにスペーサ4を用いて精度よく前面にグリッドを配置する。
請求項（抜粋）：
X線検出部と散乱線除去用のグリッドとを備え、X線源からコーン状のX線ビームを被検者に照射して得られる透過X線が、前記グリッドを介してX線検出部に導かれるように構成した2次元アレイ型放射線検出器において、前記X線検出部と平行なX-Y方向にX線検出部の画素ピッチのn倍(nは整数)となるピッチでX線入射方向に格子溝を形成し、その格子溝にX線吸収材を充填したX線遮蔽壁と、そのX線遮蔽壁に対応して配置されたX線検出部とを備えることを特徴とする2次元アレイ型放射線検出器。
IPC (5件)：
G01T 7/00 ,  A61B 6/06 331 ,  G01T 1/20 ,  G01T 1/24 ,  G21K 1/02
FI (6件)：
G01T 7/00 B ,  A61B 6/06 331 ,  G01T 1/20 E ,  G01T 1/24 ,  G21K 1/02 G ,  G21K 1/02 M
Fターム (20件)：
2G088EE01 ,  2G088EE02 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ12 ,  2G088JJ13 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL09 ,  2G088LL12 ,  4C093AA01 ,  4C093AA22 ,  4C093CA07 ,  4C093CA13 ,  4C093EB12 ,  4C093EB17 ,  4C093EB22 ,  4C093EB25
引用特許：
審査官引用 (4件)
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