特許
J-GLOBAL ID：200903087096743614
積層型圧電素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-228159
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058933
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：
【要約】【課題】 微細な構造を有する積層型圧電素子を提供する。【解決手段】 圧電体ブロック1と、圧電体ブロック1の中に埋設されたそれぞれが該ブロック1の1つの表面と実質的に平行な複数の平板電極2と、複数の平板電極2のうち該ブロック1の該1つの表面に最も近い平板電極2から数えて奇数番目の平板電極2に接続する第1の共通電極3と、第1の共通電極3によって接続されない残りの偶数番目の平板電極2に接続する第2の共通電極3とを備え、平板電極2と第1および第2の共通電極3とが同じ導電材料から形成されていることを特徴とする積層型圧電素子。
請求項（抜粋）：
導電材料からなる実質的に互いに平行な複数の平板電極と、相隣る2つの平板電極の間に配置された駆動用圧電体とを有する積層型圧電素子の製造方法であって、(a)圧電体ブロックに、エッチング用ガスのプラズマによる選択的なエッチングを用いて、それぞれが各平板電極に対応する実質的に互いに平行な複数の細長い貫通もしくは未貫通の孔を形成する工程と、(b)平板電極を形成するためにそれぞれの該孔内部に該導電材料を充填する工程とを含むことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 S
, H01L 41/22 Z
