特許
J-GLOBAL ID:200903087097590099
角分散光ヘテロダインプロフィロメトリー装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-082485
公開番号(公開出願番号):特開2001-272216
出願日: 2000年03月23日
公開日(公表日): 2001年10月05日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 低コヒーレント空間干渉法によるプロフィロメトリー計測を高速でかつ有効に行うことのできる装置を提供する。【解決手段】 広いスペクトル幅をもつ光源21と、この光源21から出射された光ビームを、被検体27を経由する信号光と、この光路とは異なる光路を経由する参照光とに二分するとともに、被検体を経由した信号光と、参照光を空間的に交差させ干渉させる干渉光学系と、信号光の周波数と前記参照光の周波数を相対的にシフトさせる周波数シフタ28を備え、さらに、信号光と参照光が重畳する面上に角分散素子を配置して、この角分散素子を透過もしくは反射する信号光および参照光を検出面に結像する光学結像系と、結像した干渉光をヘテロダイン検出する光センサと、光センサで得られた複数の受光信号を統合して被検体の表面もしくは内部層の、信号光の伝搬経路上の各関心点に対応する信号を生成する信号処理系とを具備する。
請求項(抜粋):
(a)広いスペクトル幅をもつ光ビームを出射する光源と、(b)該光源から出射された光ビームを、被検体が配置される被検体配置位置を経由する信号光と、該被検体配置位置を経由する光路とは異なる光路を経由する参照光とに二分するとともに、前記被検体配置位置を経由した後の信号光と、前記異なる光路を経由した参照光を空間的に交差させることにより、互いに重畳する面上において干渉光を生成する干渉光学系と、(c)該干渉光学系が、前記干渉光を受光するために、信号光の周波数と前記参照光の周波数を相対的にシフトさせる周波数シフタを備え、さらに、前記信号光と前記参照光が重畳する面上に角分散素子を配置して、該角分散素子を透過もしくは反射する前記信号光および前記参照光を検出面上にて結像する光学結像系と、(d)該光学結像系で結像した干渉光をヘテロダイン検出する光センサと、(e)該光センサが、空間的に配列され、それぞれが独立に受光信号を得る複数の受光素子を有するものであり、前記光センサで得られた複数の受光信号を統合して前記被検体配置位置に配置された被検体の表面もしくは内部層の、前記信号光の伝搬経路上の各関心点に対応する信号を生成する信号処理系とを具備することを特徴とする角分散光ヘテロダインプロフィロメトリー装置。
IPC (4件):
G01B 11/24
, G01N 21/17 630
, G01N 21/27
, G01N 21/45
FI (4件):
G01N 21/17 630
, G01N 21/27 H
, G01N 21/45 A
, G01B 11/24 D
Fターム (50件):
2F065AA52
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD03
, 2F065DD04
, 2F065FF01
, 2F065FF52
, 2F065GG00
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065KK01
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL30
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL42
, 2F065LL46
, 2F065LL57
, 2F065MM02
, 2F065NN05
, 2F065NN08
, 2F065QQ01
, 2F065SS13
, 2F065UU07
, 2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059EE09
, 2G059FF08
, 2G059GG02
, 2G059GG04
, 2G059HH01
, 2G059JJ05
, 2G059JJ11
, 2G059JJ12
, 2G059JJ13
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059KK03
, 2G059KK04
, 2G059LL02
, 2G059MM01
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