特許
J-GLOBAL ID：200903087099788244
可制御熱電子放出器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-000691
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220616
出願日： 1995年01月06日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 動作中、特に温度が変化した際の熱電子放出器の寸法精度を狭い範囲内に保つことができ、寿命を長くした熱電子放出器を提供する。【構成】 本発明による真空管用可制御熱電子放出器は熱電子放出層3と、絶縁層4によりこの熱電子放出層から分離された制御層5とを有し、この絶縁層と制御層とは堆積処理により形成されている。特に制御層5,7、熱電子放出層3、分離用の絶縁層4,6のような可制御熱電子放出器のすべての機能素子が基板1上に順次に堆積され、これらの層が固体の境界層を介して互いに固着されている。
請求項（抜粋）：
熱電子放出層(3,27)と、堆積処理により設けられた絶縁層により前記の熱電子放出層から分離されて堆積処理により設けられた制御層(5)とを具える真空管用の可制御熱電子放出器において、特に制御層(5,7,22,24)、熱電子放出層(3,27)及び分離用の絶縁層(2,4,6,21,23,25)のような、可制御熱電子放出器のすべての機能素子が基板(1,20)上に成長方向で順次に堆積され、これらの層が固体の境界層を介して互いに固着されていることを特徴とする可制御熱電子放出器。
IPC (2件)：
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