特許

J-GLOBAL ID：200903087102161622

液滴吐出装置及び方法並びにデバイス製造方法

発明者： 臼田 秀範
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-018355
公開番号（公開出願番号）：特開2005-212138
出願日： 2004年01月27日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】 液滴吐出ヘッドのノズル開口での目詰まりを防止することができる液滴吐出装置及び方法等を提供する。【解決手段】 吐出ヘッド20をキャッピングするキャッピング部40を備えるキャッピングユニット22、液体を貯蔵するタンク16の一部、及びタンク16の液体を吐出ヘッド20に供給する流路18はチャンバ38内に設けられている。タンク16から流路18を介して供給される液体を液滴として吐出する吐出ヘッド20はチャンバ38の内部と外部とを移動可能に構成されている。空調装置44は、チャンバ38内及びキャッピング部40内を低温高湿度環境に設定する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

所定の液体を貯蔵する液体貯蔵部と、当該液体貯蔵部から供給される前記液体をノズル開口から液滴として吐出する液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置において、 少なくとも前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル開口及びその近傍の環境を低温及び高湿度に設定する環境設定装置を備えることを特徴とする液滴吐出装置。

IPC (3件)：

B41J2/01 ,  B05C5/00 ,  B41J2/165

FI (3件)：

B41J3/04 101Z ,  B05C5/00 101 ,  B41J3/04 102N

Fターム (27件)：

2C056EA17 ,  2C056EB23 ,  2C056EB38 ,  2C056EC07 ,  2C056EC08 ,  2C056EC16 ,  2C056EC22 ,  2C056EC29 ,  2C056EC30 ,  2C056EC32 ,  2C056EC42 ,  2C056FA04 ,  2C056FA15 ,  2C056FB01 ,  2C056HA15 ,  2C056JA25 ,  2C056KD10 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38 ,  4F041BA48 ,  4F041BA60

引用特許：

出願人引用 (2件)

• インクジェット式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-198991   出願人：セイコーエプソン株式会社
• インクジェット式記録ヘッドのキャッピング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-091560   出願人：セイコーエプソン株式会社