特許
J-GLOBAL ID：200903087102770610
コリオリ力検出角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083512
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294806
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 小型で、寸法精度が高く、良好な検出感度の角速度センサを得ること。【構成】 コリオリ力によって音波を発生する振動体の音波発生部はテーパ状の1対以上の面10,11を有し、前記コリオリ力発生を音波で受音するコリオリ力検出体の音波受音部はテーパ状の1対以上の面23,24を有し、前記両部のテーパ状面は互いに相対向して平行であるように、シリコン基板を用いた異方性エッチングで形成するコリオリ力検出角速度センサ。
請求項（抜粋）：
振動を起こす振動駆動体と、共振状態で振動し、かつ角速度が生じた時、コリオリ力が発生する振動体と、前記振動体に非接触であり、かつコリオリ力の発生した振動体から発生する音波を受けることによって周期的に変位するバネ部を有するコリオリ力検出体と、前記バネ部に設けた歪ゲージ用電気抵抗素子とから成ることを特徴とするコリオリ力検出角速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 9/04
, G01C 19/56
, G01P 3/44
