特許
J-GLOBAL ID：200903087107301686
単結晶体の引き上げ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067030
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279176
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】【目的】 単結晶体の引き上げ速度を向上させ、生産性を上げること。【構成】 カメラ27は、自転しながら引き上げられるシリコン単結晶体Sと融液との固液界面の画像を入力する。制御装置40は、このカメラ27から順次入力される画像を処理して引き上げられるシリコン単結晶体Sの偏心状態を認識する。ワイヤ位置調整装置33は、この認識された偏心状態に基づいて、当該偏心状態が解消されるようにワイヤー7の回転軸心位置を移動させて調整し結晶回転系の軸心調整を自動的に行なう。
請求項（抜粋）：
自転するワイヤーを用いて、るつぼに収容されている融液から単結晶体を引き上げる単結晶体の引き上げ装置において、該引き上げられる単結晶体と前記融液との固液界面の画像を入力する画像入力手段と、当該画像入力手段から順次入力される画像を処理し、前記引き上げられる単結晶体の偏心状態を認識する偏心状態認識手段と、当該偏心状態認識手段によって認識された偏心状態に基づいて、当該偏心状態が解消されるように前記ワイヤーの回転軸心を移動させる調整手段とを有することを特徴とする単結晶体の引き上げ装置。
IPC (3件)：
C30B 15/26
, C30B 15/30
, H01L 21/208
