基板搬送装置の手動駆動具および基板搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201724
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035895
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】基板搬送装置は基板を保持して所定方向に移動可能な保持部、保持部に螺合するボールネジ、ボールネジに連結されたモータなどの可動部を有し、モータでボールネジを回転させて保持部に駆動力を与えることによって保持部を移動させ、基板を所定位置に搬送する。このような基板搬送装置では可動部に人体が挟まれたときなどの対策が特にとられておらず、救出作業が容易ではなかった。【解決手段】リフタ機構20はモータ52の回転軸53とボールネジ35とを結合するカップリング40を有する。また、手動駆動具60はカップリング40のピン穴41と係合するピン61を有する。そして、可動部を動かせたいときはこの手動駆動具60をカップリング40に係合させて回動させれば容易に手動で可動部を動かすことができる。

請求項（抜粋）：

基板を保持して移動可能な保持部と、保持部に連結され、該保持部に対して駆動力を伝達する駆動力伝達手段と、駆動力伝達手段に連結され、前記駆動力を発生させる駆動源とを有する基板搬送装置の前記駆動力伝達手段に係合する係合部と、前記係合部に対して固定されており、作業者の人力が加えられる人力作用部とを備え、人力作用部に加えられた人力を前記駆動力として駆動力伝達手段に与えることを特徴とした基板搬送装置の手動駆動具。

Fターム (15件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA09 , 5F031FA12 , 5F031FA18 , 5F031GA10 , 5F031GA15 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031HA73 , 5F031LA06 , 5F031LA07 , 5F031LA11 , 5F031LA12 , 5F031MA23

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