特許

J-GLOBAL ID：200903087109580213

薄膜型光路調節装置及びその製造方法

発明者： ミン ヨン キ ,  チョイ ヨーン ジョーン
出願人/特許権者： テーウー エレクトロニクス カンパニー リミテッド
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-538388
公開番号（公開出願番号）：特表2002-511153
出願日： 1997年03月05日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】薄膜型光路調節装置及びその製造方法が開示されている。前記装置は、電気的な配線及び連結端子が形成された基板、前記基板の上部に形成された支持層、前記支持層の上部に形成されて第1信号が印加される下部電極、前記下部電極に対応して形成されて第2信号が印加されて電気場を発生させる上部電極及び前記上部電極と前記下部電極との間に形成されて前記電気場によって変形を起こす変形層を含むアクチュエータ、前記基板の一側に形成されて前記上部電極と連結して、第2信号を前記上部電極に印加する共通電極線、そして前記上部電極の上部に形成されて光束を反射する反射手段を含む。前記装置は基板上部の連結端子が形成された部分を避けてアクチュエータを形成した後、連結部材を通じて連結端子から下部電極に第1信号を印加するために、基板に形成された電気的な配線及び連結端子が損傷を受けることを最小化できる。また、アクチュエータの一側に厚く共通電極を形成することによって、共通電極内部の抵抗による電圧降下を最小化して上部電極に変形層変形を起こすのに必要な充分の電流を印加できる。そして、第2犠牲層を塗布して2個のポストを通じて反射部材を支持することによって、反射部材の水平度を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

外部から第1信号を受けて前記第1信号を伝達する電気的な配線及び連結 端子が形成された基板と、 前記基板の上部に形成された支持層、前記支持層の上部に形成されて前記第1 信号が印加される下部電極、前記下部電極に対応して形成されて第2信号が印 加されて電気場を発生させる上部電極及び前記上部電極と前記下部電極の間に 形成されて前記電気場によって変形を起こす変形層を含むアクチュエータと、 前記基板の一側に形成されて前記上部電極と連結して、前記第2信号を前記上 部電極に印加する共通電極線と、そして 前記上部電極の上部に形成されて光束を反射する反射手段を含んで、前記第1 信号及び前記第2信号によって駆動する薄膜型光路調節装置。