特許
J-GLOBAL ID：200903087113292982
多段真空ポンプ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194822
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240181
出願日： 1991年07月09日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】 真空ポンプを高速に回転させることにより、小型化を図ることが可能な多段真空ポンプ装置を提供することを目的とする。【構成】 複数の真空ポンプ本体11,12が各々独立し、且つそれぞれの真空ポンプ本体11,12が独立した高周波電動機13,14により駆動され、各高周波電動機13,14はインバータ18からの交流電力により駆動させるように構成されている。
請求項（抜粋）：
複数の真空ポンプ本体が各々独立し、且つそれぞれの真空ポンプ本体が独立した交流電動機により駆動される多段真空ポンプ装置において、前記交流電動機として高周波電動機を用い、該高周波電動機を共通のインバータからの交流電力により駆動することを特徴とする多段真空ポンプ装置。
IPC (3件)：
F04C 23/00
, F04C 23/02
, F04C 25/02
