特許

J-GLOBAL ID：200903087113897361

電子顕微鏡装置

発明者： 松島 勝 ,  高橋 正和 ,  加藤 一夫
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-295735
公開番号（公開出願番号）：特開2004-134155
出願日： 2002年10月09日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】ステージ停止時における熱ドリフトや振動によるノイズを抑え、かつ安価な試料ステージを用いた電子顕微鏡装置を提供することにある。【解決手段】試料ステージ3は、案内機構7を備えたベース4と、この案内機構7に沿って移動するテーブル5と、このテーブル5を駆動するための駆動機構であるロッド9により構成される。テーブル5のガイド部11と駆動機構であるロッド9の結合部にギャップ12を設けている。また、制御装置100は、テーブル5の停止時には、ギャップ12を用いて、テーブル5と駆動機構とを機械的に結合を分離する位置制御を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

案内機構を備えたベースと、この案内機構に沿って移動するテーブルと、このテーブルを駆動するための駆動機構により構成される試料ステージを有する電子顕微鏡装置において、 上記テーブルと上記駆動機構の結合部に隙間を設けるとともに、 上記テーブルの停止時には上記隙間により上記テーブルと上記駆動機構とを機械的に結合を分離する位置制御を行う制御手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (2件)：

H01J37/20 ,  H01J37/28

FI (2件)：

H01J37/20 D ,  H01J37/28 B

Fターム (5件)：

5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5C001DD02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU08