特許

J-GLOBAL ID：200903087118667593

真空搬送処理装置

発明者： 河東 進
出願人/特許権者： テル・バリアン株式会社
代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-189432
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013549
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】真空雰囲気内において所定の処理が施される被処理体の位置合せ、表裏面の反転及び処理室への搬入・搬出等の搬送処理の効率の向上、装置の小型化及び省エネルギ化を図る。【構成】複数のウエハAを収容する少なくとも2つのウエハカセット室7と処理室1とに隣接するロードロック室4内に、位置合せ部20と、第1及び第2の反転手段30a,30bと、仮置き部40とを設ける。ロードロック室4内に、カセット室7の一方に位置するカセットBと、位置合せ部20と、第1の反転手段30aとで被処理体8の授受を司る第1の搬送手段50aと、カセット室7の他方に位置するカセットBと、位置合せ部20と、第2の反転手段30bとでウエハAの授受を司る第2の搬送手段50bを配設する。処理室1とロードロック室4との間に仮置き部40と処理室1とでウエハAの授受を司る第3の搬送手段50cを配設する。

請求項（抜粋）：

真空雰囲気内で板状の被処理体を所定の処理部に順次搬送する真空搬送処理装置において、複数の被処理体を収容する少なくとも2つの真空状の被処理体収容室と、上記被処理体の位置を調整する位置合せ部と、上記被処理体の表裏面を反転する第1及び第2の反転手段と、複数の上記被処理体を保持する仮置き部と、上記仮置き部から搬送された被処理体を処理する処理室と、上記被処理体収容室の一方に位置する被処理体カセットと、上記位置合せ部と、上記第1の反転手段とで被処理体の授受を司る第1の搬送手段と、上記被処理体収容室の他方に位置する被処理体カセットと、上記位置合せ部と、上記第2の反転手段とで被処理体の授受を司る第2の搬送手段と、上記仮置き部と処理室とで被処理体の授受を司る第3の搬送手段とを具備してなることを特徴とする真空搬送処理装置。