ステージ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008193
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216003
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】アクティブ型防振機構の採用によって短縮される振動整定時間を更に短縮し、それによってステージの位置決め性能を更に向上する。【構成】床1及び支持台4A,4Bとベース3との間にエアーダンパー2A,2B,5A,5Bを介装し、ベース3上の支持枠10に装着された送りねじ11にステージ13を係合させる。ステージ13の位置をレーザー干渉計15により計測し、この計測された位置に基づいてステージ制御部16が駆動モーター12を介して送りねじ11を駆動し、ステージ制御部16は防振台制御部8にステージ13の速度情報等を予め供給する。防振台制御部8は、ステージ13の移動状態からベース3の振動を予測し、エアーダンパー2A〜5Bの圧力を調整してベース3の振動を抑制する。

請求項（抜粋）：

所定のベースと、前記ベースに対して移動自在に配設され位置決め対象物が載置されるステージと、該ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージが移動する際の前記ベースの振動を外力を加えることにより抑える防振手段とを有するステージ装置において、予め定められた前記ステージの移動情報に応じて前記駆動手段を介して前記ステージを移動させると共に、前記ステージの変位情報を予め発生するステージ制御手段を設け、前記ステージの移動により前記ベースが振動する前に前記ステージの移動情報又は前記ステージの変位情報に基づいて予め前記防振手段を動作させて、前記ベースの防振を行うことを特徴とするステージ装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , B23Q 1/18 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 , H01L 21/68 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-125048
特開平1-288647
特開平2-250738

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