特許

J-GLOBAL ID：200903087127501754

ガス処理装置のクリーニング方法

発明者： 酒井 伊都子 ,  大岩 徳久
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-012257
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217166
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】 ガスを循環させて再利用するガス処理装置において、循環経路内の堆積物のクリーニングを効果的に行う。【解決手段】 処理ガスを導入して所定の処理を行う処理部11と、第1の排気部22と、第2の排気部23と、第1の排気部から排出されたガスの一部を処理部に供給する第1の配管部25,28と、第1の配管部から分岐して第2の排気部につながる第2の配管部27とを備え、処理部のガス排出部から第1の排気部及び第1の配管部を介して処理部のガス導入部に至る循環経路に処理ガスを循環させて所定の処理を行うガス循環機能を有するガス処理装置のクリーニング方法であって、処理ガスを循環経路に循環させて所定の処理を行った時間を積算し、その積算時間が所定時間に達した段階で、ドライクリーニング処理によって少なくとも循環経路に堆積した堆積物を除去する。

請求項（抜粋）：

処理ガスを導入して所定の処理を行う処理部と、前記処理部からのガスを排気する第1の排気部と、前記第1の排気部からのガスを外部に排気する第2の排気部と、前記第1の排気部から排出されたガスの一部を前記処理部に供給する第1の配管部と、前記第1の配管部から分岐して前記第2の排気部につながる第2の配管部とを備え、前記処理部のガス排出部から前記第1の排気部及び前記第1の配管部を介して前記処理部のガス導入部に至る循環経路に処理ガスを循環させて前記所定の処理を行うガス循環機能を有するガス処理装置のクリーニング方法であって、前記処理ガスを前記循環経路に循環させて前記所定の処理を行った時間を積算し、その積算時間が所定時間に達した段階で、ドライクリーニング処理によって少なくとも前記循環経路に堆積した堆積物を除去することを特徴とするガス処理装置のクリーニング方法。

Fターム (13件)：

5F004AA13 ,  5F004AA15 ,  5F004BA04 ,  5F004BC02 ,  5F004BC04 ,  5F004CA01 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA18 ,  5F004DA20 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004DB03