特許
J-GLOBAL ID：200903087131690090
走査形電子顕微鏡の装置制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-275161
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130322
出願日： 1993年11月04日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】複数の測長SEM各々を、外部より制御可能とし、これらの制御を1台の制御装置(ホスト制御装置)にて、ウェーハ上のレジストの線幅,形状等を監視、及び、測長SEMの操作を行うこと。【構成】測長SEMに通信手段5,画像信号入出力手段6をもうけ、ホスト制御装置4に操作手段7,通信手段8,表示手段9,画像信号入出力手段10をもうけて測長SEMで操作,観察する機能をホスト制御装置4で出来るようにする。【効果】本発明により、複数の測長SEMを1人で監視,操作できるので省力化の効果がある。また、クリーンルーム内での測長SEM操作を最小限に抑えられのでクリーンルームのクリーン度を向上させる効果がある。
請求項（抜粋）：
電子線を発生する手段,該電子線を集束する手段,該電子線を2次元に偏向する手段,該電子線を試料に照射した際に試料から発生する信号を検出する手段,該検出信号を画像信号に変換する手段,試料を移動する手段,真空に排気する手段、及び上記手段を、外部から制御する手段を備えた走査形電子顕微鏡複数台を、1台の装置制御装置で制御することを特徴とする走査形電子顕微鏡の装置制御装置。
IPC (2件)：
H01J 37/22 502
, G01B 15/00
