特許

J-GLOBAL ID：200903087131816140

エキスパンド治具

発明者： 酒谷 康之 ,  東 正幸
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-144600
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349456
出願日： 2003年05月22日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】ワークユニットのテープを引き延ばした状態に保持することができる、小型で簡易な構造のエキスパンド治具を提供する。【解決手段】エキスパンド治具10は、ワークユニット12のテープTを引き延ばした状態で保持するための治具であり、押し上げリング14と挟持リング16で構成される。押し上げリング14は、ワークユニット12のフレームFよりも小さく形成され、この押し上げリング14がフレームFに挿通されることによってテープTが引き延ばされる。挟持リング16は、押し上げリング14の外周面に、テープTを挟んだ状態で嵌合される。挟持リング16の下面には、突出部16Aが形成され、突出部16Aにはエア吸引口16Bが形成される。フレームFは、突出部16Aの内側に嵌合される。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ワークがテープの表面に貼り付けられるとともに前記テープの外周部がフレームによって支持されたワークユニットの前記テープを引き延ばした状態に保持するエキスパンド治具において、 前記フレームよりも小さな径で形成され、前記フレームに挿通させるように前記フレームに対して相対的に移動させることによって前記テープを引き延ばす内リング部材と、 前記内リング部材の外周部に前記テープを介して嵌め込まれ、前記テープを引き延ばした状態に保持する外リング部材と、 を備え、前記外リング部材には、前記フレームが固定される固定部が設けられることを特徴とするエキスパンド治具。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (8件)：

5F031CA02 ,  5F031CA13 ,  5F031GA23 ,  5F031HA12 ,  5F031HA78 ,  5F031MA33 ,  5F031MA35 ,  5F031PA09