特許

J-GLOBAL ID：200903087139348730

ワイヤソー

発明者： 阪口 新 ,  山田 透 ,  荒井 秀 ,  尾崎 純 ,  平沢 照彦 ,  上岡 正嗣
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-223245
公開番号（公開出願番号）：特開平8-085053
出願日： 1994年09月19日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 シリコンや化合物半導体、酸化物単結晶、セラミックスなどのような高価で硬い材料の主として棒状被切断物を、切断ロスを少なくかつ高精度、高効率で切断するワイヤソーを提供する。【構成】 ワーク保持アーム8の一端に固着された被切断物7を走行ワイヤ1に押接して切断するワイヤソーにおいて、被切断物7を往復回転運動をさせる機構と、被切断物7をワイヤに平行な面内で移動させる機構を備え、被切断物7の切断部分と切断されるべき未切断部分との境界線がワイヤ1に対し凸となるような曲率を有するようにしてワイヤ1に接するように構成されている。ワーク保持アーム8の他端の部分に設けたワーク保持アーム回転軸11を回転中心とし走行ワイヤ1に平行に被切断物7が揺動する揺動機構と揺動面と平行な面内での移動機構を備えている。

請求項（抜粋）：

切断除去された部分と切断されるべき未切断部分との境界線がワイヤに対し凸となるような曲率を有するようにしてワイヤに接することを特徴とするワイヤソー。

IPC (2件)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭61-182760
  
• 特開昭56-076366
  
• 特開平1-171753
  

審査官引用 (1件)

• 特開昭61-182760