特許

J-GLOBAL ID：200903087142690318

モザイク状Niシリサイドターゲット材

発明者： 土方 研一 ,  原田 剛 ,  小岩 正幸
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-204753
公開番号（公開出願番号）：特開平8-067972
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】 高純度でかつ組織が均一で、パーティクル発生の著しく少ないモザイク状Niシリサイドターゲット材を提供する。【構成】 モザイク状Niシリサイドターゲット材が、全体としてNiSin (ただし、nはモル比で0.9〜1.2)の組成式を満足し、かつNi-Si2元合金系状態図で示されるNi3 Si2 -NiSi共晶合金組成とNiSi-NiSi2 共晶合金組成との夫々の板状片を複数個組合せて一体化したものからなる。

請求項（抜粋）：

全体としてNiSin (ただし、nはモル比で0.9〜1.2)の組成式を満足し、かつNi-Si2元合金系状態図で示されるNi3 Si2 -NiSi共晶合金組成とNiSi-NiSi2 共晶合金組成との夫々の板状片を複数個組合せて一体化したことを特徴とするモザイク状Niシリサイドターゲット材。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/06