特許
J-GLOBAL ID：200903087143586484
集積回路試験装置の空調システム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-286093
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120035
出願日： 1993年10月19日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 集積回路試験装置を集めたクリーンルームの空調を効率良く行うための空調システムを提供する。【構成】 集積回路部品を装着して所定部分に接続するハンドリング部11と、このハンドリング部11からの入出力に基づき集積回路部品に各種試験を施すプログラムを走らせる演算制御部12とからなる集積回路試験装置10の1以上をクリーンルーム1内に設置するための空調システムであって、クリーンルーム1内に前記演算制御部12を収納し配線14のための開口13以外は密閉状態で囲ったバックヤード2を設け、クリーンルーム1の空調設備6とは別系統のバックヤード2の空調設備7を設け、バックヤード2内の圧力をクリーンルーム1内の圧力より低くし、バックヤード2内のクリーン度をクリーンルーム1内のクリーン度より低くし、集積回路の試験に求められる高いクリーン度と、演算制御部の冷却のための其ほど高くないクリーン度を分けて、本来のクリーン度が求められる空間を狭くしたシステムである。
請求項（抜粋）：
集積回路部品を装着して所定部分に接続するハンドリング部と、このハンドリング部からの入出力に基づき集積回路部品に各種試験を施すプログラムを走らせる演算制御部とからなる集積回路試験装置の1以上をクリーンルーム内に設置するための空調システムであって、クリーンルーム内に前記演算制御部を収納し配線のための開口以外は密閉状態で囲ったバックヤードを設け、クリーンルームの空調設備とは別系統のバックヤードの空調設備を設け、バックヤード内の圧力をクリーンルーム内の圧力より低くし、バックヤード内のクリーン度をクリーンルーム内のクリーン度より低くしたことを特徴とする集積回路試験設備の空調システム。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, G01R 31/26
, H01L 21/66
