特許

J-GLOBAL ID：200903087145447961

光重合性樹脂組成物

発明者： 有久 慎司 ,  岡田 祐二
出願人/特許権者： 旭化成エレクトロニクス株式会社
代理人 (4件)： 武井 英夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  鳴井 義夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-335849
公開番号（公開出願番号）：特開2006-145844
出願日： 2004年11月19日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：

【課題】 エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として特に高解像性と高密着性及びレジスト剥離性を有し、更に現像液中での分散安定性にも優れた光重合性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)カルボキシル基含有バインダー、30〜80質量%、(B)光重合可能なモノマー、15〜60質量%、(C)光重合開始剤、0.01〜20質量%を含有してな光重合組成物であって、(A)カルボキシル基含有バインダーが、少なくとも一般式(I)で表されるモノマー、15〜35質量%、一般式(II)で表されるモノマー、10〜80質量%、及び一般式(III)で表されるモノマー、1〜50質量%を共重合し,かつ、重量平均分子量が5,000〜500,000である共重合体(a-1)を、(A)成分100質量%のうち5質量%以上含有することを特徴とするアルカリ現像可能な光重合性樹脂組成物を用いる。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基含有バインダー、30〜80質量%、(B)光重合可能なモノマー、15〜60質量%、(C)光重合開始剤、0.01〜20質量%を含有してなる光重合性樹脂組成物であって、(A)カルボキシル基含有バインダーが、少なくとも下記一般式(I)で表されるモノマーI、15〜35質量%、下記一般式(II)で表されるモノマーII、10〜80質量%、及び下記一般式(III)で表されるモノマーIII、1〜50質量%を共重合し、かつ、重量平均分子量が5,000〜500,000である共重合体(a-1)を、(A)成分100質量%のうち5質量%以上含有することを特徴とするアルカリ現像可能な光重合性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00

FI (5件)：

G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/028 ,  H05K3/00 F

Fターム (18件)：

2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB43 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許第2706858号公報
  
• 特許第2756623号公報
  
• フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-117340   出願人：シップレーカンパニーエルエルシー

審査官引用 (3件)

• 特開平3-200804
  
• 特開平2-294301
  
• 特開昭64-077043