特許
J-GLOBAL ID:200903087149081090

絶対位置測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-050727
公開番号(公開出願番号):特開平5-071984
出願日: 1992年03月09日
公開日(公表日): 1993年03月23日
要約:
【要約】【目的】 高い分解能を有する絶対位置測定装置を提供することにある。【構成】 本発明測定装置は増分トラック(9) と絶対トラック(13)が設けられた目盛素子(3) と、これらトラックに対応する検出素子(4, 6)とを具える。両トラックは一連のストライプ状部分(11, 15)として形成され、各ストライプ状部分は目盛素子上の位置に依存して検出可能な特性 (例えば二価特性)を有する。絶対トラック(13)ではこの検出可能特性をストライプ状部分(15)間に擬ランダムに分布させて増分トラック(9) のピッチに対する検出素子からの信号の組合せが各ピッチ(17)に対し特定の値を発生するようにする。
請求項(抜粋):
可動素子の絶対位置を測定する装置であって、複数のトラックを有する目盛素子と、該トラックの数と同数の検出素子を具えるピックアップ装置とを具え、前記検出素子は複数のセンサを具え、前記トラックは増分トラックと絶対トラックとを具え、これらトラックは一連のストライプ状部分として形成され、各ストライプ状部分は目盛素子上の位置に依存すると共に前記センサで検出可能な特性を有し、更に絶対トラックと関連する検出素子のセンサからの信号と増分トラックと関連する検出素子のセンサからの信号との組合せから可動素子の絶対位置を決定する信号処理装置を具えた位置測定装置において、前記絶対トラックの検出可能特性を前記ストライプ状部分間に擬ランダムに分布させ、増分トラックの各ピッチに対する信号の組合せが前記ピッチに対し特定の値を有するようにしたことを特徴とする絶対位置測定装置。
IPC (2件):
G01D 5/245 102 ,  G01D 5/245
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭62-291507
  • 特表昭59-501725
  • 特開平2-249899
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