特許
J-GLOBAL ID：200903087153844864
表面形状測定装置及び測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-040227
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248335
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 構成が簡単でしかも作製が容易なAFMカンチレバーを備えた表面形状測定装置を提供する。【構成】 原子間力検出用探針付きカンチレバーと、カンチレバー上に二つの電極に挟まれて形成されカンチレバーの共振周波数付近の振動を励起するための圧電薄膜と、圧電薄膜のインピーダンスを測定する手段を設けた構造とする。
請求項（抜粋）：
原子間力を検出して物体の表面形状を測定する表面形状測定装置において、原子間力検出用探針付きカンチレバーと、該カンチレバー上に二つの電極に挟まれて形成されカンチレバーの共振周波数付近の振動を励起するための圧電薄膜と、該圧電薄膜のインピーダンスを測定する手段とからなることを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
