特許
J-GLOBAL ID：200903087160807249
走査型近接場光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-286733
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105865
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】 大面積の試料や質量の大きい試料の観察が可能にする。高速走査が可能でコンパクトにする。【解決手段】 X方向に伸縮可能な圧電駆動部材31、Y方向に伸縮可能な圧電駆動部材33及びZ方向に伸縮可能な圧電駆動部材35が、先端部に探針21aを有するカンチレバー21を移動させる。光源41からの光が集光レンズ40により探針21aの背面に集光され、探針21aの先端から近接場光が発生する。集光レンズ40は、圧電駆動部材33の一方の端部に対して固定され、集光レンズ40の光軸が実質的に変わらずにカンチレバー21の移動に実質的に追従して移動する。集光レンズ40は、その焦点がカンチレバー21の探針21aの背面と実質的に一致するように配置されている。光源41は、固定側に設けられ、実質的な平行光を集光レンズ40の光軸の方向から集光レンズ40に照射する。
請求項（抜粋）：
近接場光を発生させるための近接場光発生用光源と、前記近接場光発生用光源から発する光の波長より小さい開口径を有した探針と、前記探針を先端部に有するカンチレバーと、前記探針から発した近接場光と試料とが相互作用した光を検出する近接場光検出手段と、前記チップを前記試料に対して3次元的に移動させる探針駆動手段と、前記カンチレバーの撓み量を検出する撓み検出手段とを備えた走査型近接場光学顕微鏡において、前記探針に入射する前記近接場光の光源からの光の光軸上に設けられ、かつ前記探針の試料表面と平行な動きとほぼ同様な移動をする前記探針駆動手段の所定位置に固定され、前記探針に前記近接場光発生用光源の光を集光する光学特性を有した光学部材とを備えたことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 21/00
, G01N 37/00 D
