特許

J-GLOBAL ID：200903087164371410

共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法

発明者： 志知 広康 ,  長部 敏
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-336092
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162164
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 2種類以上の被検元素を高感度で分析する共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置を提供する。【解決手段】 一次イオン源1,パルス電圧電源3、静電偏向板4、アパーチャ5からなるイオンビームパルス化機構6,走査電源7、静電偏向板8からなるイオンビーム走査機構9,イオンビームレンズ10,試料台11,試料12,レーザ装置14,質量分析計17,コンピュータ18等で構成し、試料12から発生した中性粒子13にレーザ装置14からレーザビーム15,15’を照射し、対象成分の光励起イオン16,16’を生成し質量分析するものである。

請求項（抜粋）：

パルス荷電粒子線もしくはパルス光を、固体試料表面の被分析領域に照射し、該試料から二次イオンと複数種類の中性粒子とを飛散させるパルスビーム照射手段と、該複数種類の中性粒子を励起させる複数の波長のパルスレーザビームを照射するレーザビーム照射手段と、該二次イオンと、該被検元素の光励起イオンを各々高感度で分析できる分析手段と、を具備したことを特徴とする共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置。

IPC (4件)：

G01N 23/225 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/10 ,  H01J 49/26

FI (4件)：

G01N 23/225 ,  G01N 27/62 G ,  H01J 49/10 ,  H01J 49/26

Fターム (22件)：

2G001AA05 ,  2G001AA09 ,  2G001AA10 ,  2G001AA13 ,  2G001AA20 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001EA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001KA01 ,  2G001NA07 ,  2G001NA15 ,  2G001SA29 ,  5C038GG02 ,  5C038GG07 ,  5C038GH02 ,  5C038GH09 ,  5C038GH10 ,  5C038GH15 ,  5C038HH02 ,  5C038HH26