特許

J-GLOBAL ID：200903087169369490

表面欠陥検査装置

発明者： 今西 正則
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 菊谷 公男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-053325
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239222
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】外乱の影響を受けにくく、欠陥の検査精度を向上させる。【目的】【構成】 被検査面に光を照射する照明装置と、照明装置の照射により被検査面から反射光を受光し受光画像を得るカメラとを備え、受光画像に基づいて被検査面の欠陥を検出する表面欠陥検査装置であって、照明装置1は色座標上で分離可能な黄色と青色の両照明とからなり、黄色と青色の照明がそれぞれ交差状に被検査面9を照射する。通常は被検査面9により反射された黄色の照明光がカメラ2に入射し、被検査面9に欠陥があるときのみ青色の照明光がその欠陥部で乱反射され黄色の受光画像中に青色の受光画像が形成される。これにより、外乱に強く、複雑な輝度の被検査面に適用でき、小さな欠陥の検出ができるという効果が得られる。

請求項（抜粋）：

被検査面に光を照射する照明手段と、該照明手段の照射により前記被検査面から反射光を受光し受光画像を得る撮像手段とを備え、前記受光画像に基づいて被検査面の欠陥を検出する表面欠陥検査装置であって、前記照明手段は色座標上で分離可能なA色のA照明とB色のB照明とを併置して形成されるとともに、前記被検査面により反射されたA照明の照明光が前記撮像手段に入射して結像するように配設して構成され、被検査面に欠陥があるときA色の受光画像中の前記欠陥に対応する部位に欠陥部で乱反射されたB色の照明光によりB色画像が生成されることを特徴とする表面欠陥検査装置。