特許

J-GLOBAL ID：200903087172460503

石英ガラスの製造方法

発明者： 須田 裕之 ,  衛藤 伸生 ,  塩田 英司 ,  久保 富義
出願人/特許権者： 東ソー株式会社 ,  日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 本多 小平 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124436
公開番号（公開出願番号）：特開平5-319848
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：

【要約】【目的】 残存するOH基の濃度が1ppm以下の高純度で均質な石英ガラスを再現性よく製造する方法を提供する。【構成】 脱OH基処理工程と透明ガラス化工程では石英ガラス製とは異なる材質の炉芯管を装着した電気炉を用いて処理する石英ガラスの製造方法において、該脱OH基処理終了後、降温させる際に、温度が500°C以下になるまで該脱OH基作用を有するガスを含む雰囲気にシリカ多孔質母材を維持し続ける石英ガラスの製造方法。

請求項（抜粋）：

合成されたシリカ多孔質母材を脱OH基作用を有するガスを流通させて加熱処理する脱OH基処理工程では石英ガラス製炉芯管を装着した電気炉を用いて処理し、次いで、処理後のシリカ多孔質母材をさらに高温下で加熱処理する透明ガラス化工程では石英ガラス製とは異なる材質の炉芯管を装着した電気炉を用いて処理する石英ガラスの製造方法において、該脱OH基処理の終了後、降温させる際に、温度が500°C以下になるまで該脱OH基作用を有するガスを含む雰囲気にシリカ多孔質母材を維持し続け、その後、透明ガラス化処理を行なうことを特徴とする石英ガラスの製造方法。

IPC (3件)：

C03B 37/014 ,  C03B 20/00 ,  C03B 32/00