特許
J-GLOBAL ID：200903087180346906
プローバ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258511
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112285
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 バーンインテストを行うことなく、被検査基板上の測定体の欠陥を見出だすことができ、テストの際のストレスによる不良発生を防止することができるとともに、テスト時間の短縮による生産効率の向上を図ることのできるプローバ装置を提供する。【構成】 プローブカード4の上方には、テストヘッド8が載置されている。テストヘッド8の中央部分には、開口9が形成されており、この開口9内には、レンズ等からなる光学機構10が配置されている。光学機構10の上方には、イメージインテンシファイアー11が設けられている。イメージインテンシファイアー11による検出信号は、コンピュータ等からなるコントローラ13に送られる。プローブカード4の下部にウエハ載置台2の周囲を囲む如く筒状の遮光体14が設けられている。
請求項（抜粋）：
被検査基板を載置してx、y、z、θ方向に移動可能な載置台と、前記被検査基板上の測定体の電極に対応したプローブ針を有するプローブカードと、このプローブカードに設けられた透過孔を介して前記被検査基板に対向して設けられた光検出装置と、前記光検出装置に、前記被検査基板以外からの外光が入射することを防止する遮光機構と、前記被検査基板上の測定体に電気信号を与えて試験するテスタとを備え、このテスタによる前記被検査基板上の測定体の試験に際して、前記光検出装置で前記測定体からの発光を測定することを特徴とするプローバ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/02
, G01R 31/26
