特許
J-GLOBAL ID:200903087188626738
非接触式物体検知計測方法及びその装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 秀樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-133958
公開番号(公開出願番号):特開平7-318312
出願日: 1994年05月25日
公開日(公表日): 1995年12月08日
要約:
【要約】【目的】 小形化が可能であるとともに高精度で、幅広い被測定物に適用でき、かつ安価に提供することが可能な非接触式物体検知計測方法およびその装置を提供する。【構成】 平行ビーム光11の光経路の途中で平行ビーム光11の略中央に設けられ、外側方向へ略直角に分岐された第1と第2の平行ビーム光15,16を生成するための分光器17と、この分光器17で分岐された2つの平行ビーム光15,16を投光部3の原平行ビーム光11と平行に走行させ、かつ被測定物50が配置される測定位置Pを越えた位置で2つの平行ビーム光15,16を内側方向へ略直角に走行させるための平行ビーム光ガイド手段13と、この平行ビーム光ガイド手段13で内側に向けられた2つの平行ビーム光15,16を投光部3の原ビーム光11の幅BLとほぼ一致させて受光素子5に導くための集光プリズム14とを設けた。
請求項(抜粋):
平行ビーム光を照射する投光部と、前記平行ビーム光を受光する受光素子を有した受光部とを備える非接触式物体検知計測装置において、前記平行ビーム光の光経路の途中で前記平行ビーム光の略中央に設けられ、前記平行ビーム光を相反する外側方向へ略直角に分岐させて第1と第2の平行ビーム光を生成するための分光器と、前記分光器で分岐された前記2つの平行ビーム光を前記投光部の原平行ビーム光と平行に走行させ、かつ被測定物が配置される位置を越えた位置で前記2つの平行ビーム光を内側方向へ略直角に走行させるための平行ビーム光ガイド手段と、前記平行ビーム光ガイド手段で内側に向けられた前記2つの平行ビーム光を前記投光部の原平行ビーム光の幅とほぼ一致させて前記受光素子に導くための集光手段、とを備えたことを特徴とする非接触式物体検知計測装置。
IPC (3件):
G01B 11/00
, G01B 11/02
, G01B 11/08
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特開昭57-160006
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特開昭60-006808
審査官引用 (2件)
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特開昭57-160006
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特開昭60-006808
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