特許

J-GLOBAL ID：200903087196799609

近接場光学顕微鏡

発明者： 木口 雅史 ,  加藤 美登里
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-327725
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146803
出願日： 1998年11月18日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】厚みを有する試料表面の顕微蛍光測定における定量性を向上する。【解決手段】微小開口付探針を用いて試料表面を走査しながら蛍光強度を測定する近接場光学顕微鏡において、探針を試料面と垂直方向に振動させ、光てこ法、光学干渉法、水晶振動法、もしくはピエゾ検出法等を用いて探針の振動を検出し、その振動に同期して変化する蛍光強度を同期検波する機構を有する。

請求項（抜粋）：

光を試料に照射するために先端に微小開口を有する探針と、試料と探針の距離を制御しながら走査する機構と、試料を透過した光、もしくは試料により反射、または散乱した光、或いは試料からの2次光を信号として観測する機構と、観測信号を画像化する機構よりなる近接場顕微鏡において、特に、探針を振動せしめて試料との距離を変調し、光てこ法,光学干渉法,水晶振動子法、もしくはピエゾ検出法等を用いて探針の振動を検出し、その検出信号を同期検波用の参照信号として用いて、信号を同期検波法により観測することを特徴とする近接場光学顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 13/14 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/65

FI (5件)：

G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/27 E ,  G01N 21/64 E ,  G01N 21/65

Fターム (51件)：

2F065AA22 ,  2F065AA49 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065EE06 ,  2F065FF00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL57 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ00 ,  2F065SS13 ,  2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043DA06 ,  2G043EA01 ,  2G043EA03 ,  2G043FA02 ,  2G043FA03 ,  2G043GA02 ,  2G043GB01 ,  2G043GB03 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043JA01 ,  2G043JA05 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043MA01 ,  2G043NA01 ,  2G043NA13 ,  2G059AA05 ,  2G059DD13 ,  2G059EE03 ,  2G059EE07 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059KK02