特許
J-GLOBAL ID：200903087208016915
研磨方法及び研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土橋 皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-225225
公開番号（公開出願番号）：特開平9-066464
出願日： 1995年09月01日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】研磨方法及び装置において、工具の滞留時間を求める計算方法を簡略化して、計算時間を短縮し、計算機の省力化、加工リードタイムの短縮化を図るとともに、加工条件の制限をなくし、加工機の複雑化を防止し、加工範囲の拡大、回転加工物への対応、加工条件の精密化を図ることができるものとする。【解決手段】研磨駆動手段101で被加工物を研磨するに際して、減耗形状h(x)と、予め求めておいた研磨工具の単位除去形状f(x,u)とから、研磨工具の被加工物の各研磨点での滞留時間t(u)を演算手段103で求め、該滞留時間に基づいて研磨工具で被加工物の研磨をおこなう研磨方法及び装置において、演算手段103は前記研磨工具を当接させる前記被加工物の加工面を複数の領域に分割し(S1,S2)、プレストンの経験則に基づいて、最小二乗法による演算で前記研磨工具の滞留時間t(u)を求める(S3,S4)構成とした。
請求項（抜粋）：
被加工物の加工面に研磨工具を接触させ、被加工物を研磨するに際して、被加工物の面形状データと設計形状データとの差である減耗形状h(x)と、予め求めておいた研磨工具の単位除去形状f(x,u)とから、研磨工具の被加工物の各研磨点での滞留時間t(u)を演算で求め、該滞留時間に基づいて研磨工具で被加工物の研磨をおこなう研磨方法において、前記研磨工具を当接させる前記被加工物の加工面を複数の領域に分割し、h=η・v・p・t(h:減耗量、η:比例定数、v相対速度、p:圧力、t滞留時間)なるプレストンの経験則に基づいて、最小二乗法による演算で前記研磨工具の滞留時間t(u)を求めることを特徴とする研磨方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 49/00
, B24B 13/00 Z
