特許

J-GLOBAL ID：200903087208076519

真空乾燥装置

発明者： 飯田 俊郎 ,  磯崎 昭太郎
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 八木田 茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161377
公開番号（公開出願番号）：特開平7-019730
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 炭化水素系溶剤、水系溶剤或いはアルコール系溶剤を用いて洗浄される品物の真空乾燥装置において乾燥時間を短縮させしかも安定して安全に動作できるようにする。【構成】 真空槽内にガスを噴入して真空槽内ガスを吸引し、乾燥すべき処理物を通って循環させるガス噴射装置が設けられ、乾燥すべき処理物から蒸発した溶剤を凝縮回収する凝縮器に、装置の乾燥操作終了時に凝縮器14内を大気圧に開放し、空気を流入して回収洗浄剤及び内壁に付着した洗浄剤を排出させる弁装置が組み込まれる。また安全対策として真空計16の作動は一定圧力以下にしてから作動するように制御装置25が設けられる。

請求項（抜粋）：

乾燥すべき処理物を収容する真空槽と、この真空槽の中央部付近より乾燥すべき処理物内部を通って真空槽内へガスが流れるようにしたガス噴射装置と、真空槽を排気する排気ポンプと、真空槽と排気ポンプとの間に設けられ、真空槽内の処理物から蒸発した洗浄剤を回収する凝縮器と、真空槽内を加熱する加熱装置とを有することを特徴とする真空乾燥装置。