特許

J-GLOBAL ID：200903087214791076

表面の凹凸検査方法および装置

発明者： 渡部 典生 ,  西山 亮哉 ,  飯島 康男
出願人/特許権者： 日立東部セミコンダクタ株式会社
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-191041
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009452
出願日： 1998年06月22日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 表面の傷、付着異物等の表面の凹凸を能率よく高精度に検査する。【解決手段】 表面の凹凸検査装置10は被検査面8に対して斜めに光13を照射する斜方照明装置12と、被検査面8からの正反射光14を受けて煽り撮像する煽り撮像装置15と、煽り撮像装置15の画像の明度値と記憶部21に記憶された明度値とを比較して表面の凹凸を判定する判定部22とを備えている。斜方照明装置12で被検査面8に対して斜めに光13が照射されると、被検査面8からの正反射光14は煽り撮像装置15の撮像面18aに煽り撮像で被検査面像を結ぶ。判定部22は煽り撮像装置15の画像の明度値と、記憶部21の明度値とを比較し被検査面8表面の異物6を検出する。【効果】 被検査面の表面の色や性状に関わらず凹凸を認識できるため、被検査面を能率よく精密に検査できる。

請求項（抜粋）：

被検査面に対して斜めに光を照射し、被検査面からの正反射光を受けて煽り撮像し、この煽り撮像の画像の明度値と予め記憶された明度値とを比較することにより、表面の凹凸を検査することを特徴とする表面の凹凸検査方法。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/30 C ,  G01B 11/24 C ,  G01N 21/88 F ,  H01L 21/66 J

Fターム (50件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065DD10 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG01 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CD04 ,  2G051CD06 ,  2G051CD07 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051ED13 ,  2G051ED21 ,  4M106BA04 ,  4M106CA19 ,  4M106CA38 ,  4M106CA41 ,  4M106DB02 ,  4M106DB12 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21