特許
J-GLOBAL ID：200903087216658470
直線駆動装置およびそれを備えた基板搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-152712
公開番号（公開出願番号）：特開平11-003924
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 駆動部で生じる粉塵が外部に放出されることのない直線駆動装置および基板搬送装置を提供する。【解決手段】 中空の収納カバー2の内部にリニアモータ部10を収納する。リニヤモータ部10の周囲を取り囲むように環状のベルト3をローラ4に掛け渡す。ベルト3は磁性体から構成され、カバー2の開口部8a,8bを閉塞するように配置される。ベルト3と収納カバー2との隙間16には磁性流体シールが配設されている。磁性流体シールは粉塵がベルト3と収納カバー2との隙間16を通り外方へ放出されることを防止する。
請求項（抜粋）：
所定の方向に直線状に移動可能な移動体を移動させる直線駆動装置であって、前記移動体の移動方向に延びる開口部を有する収納カバーと、前記収納カバーの外部にある前記移動体を固定しているとともに、前記開口部に沿って前記移動体の移動方向に移動する移動部材と、前記収納カバーの内部に収納され、前記開口部に沿って前記移動体の移動方向に前記移動部材を移動させる駆動手段と、前記収納カバーの内部に配置され、かつ前記開口部を閉塞した状態で前記移動部材の移動に伴って移動するように前記移動部材に固定されている閉塞部材と、を備えたことを特徴とする直線駆動装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/027
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 A
, H01L 21/30 561
