特許

J-GLOBAL ID：200903087217845029

赤外線センサ

発明者： 遠藤 俊哉 ,  杉山 大樹
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 中尾 俊輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044181
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237464
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 電極パッドの酸化を防止して素子構造を安定させること。【解決手段】 ビスマスからなる第2熱電性薄膜8とアルミニウムを含有する電極パッド13との間にバリアメタル薄膜14を介在させるようにして、第2熱電性薄膜8と電極パッド13とを直接接触させずに電極パッド13の酸化を防止して長期にわたって素子構造を安定させるようにしたもの。

請求項（抜粋）：

一方がビスマスからなる1対の熱電性薄膜により構成される少なくとも1つの薄膜熱電対の両端上にアルミニウムを含有した電極パッドを接続し、入射した赤外線を熱に変換し、この熱による受光部の温度変化を前記薄膜熱電対により検出する赤外線センサであって、前記ビスマスからなる熱電性薄膜と前記電極パッドの間に、バリアメタル薄膜を介在させたことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (4件)：

H01L 35/32 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 35/18

FI (4件)：

H01L 35/32 A ,  G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 B ,  H01L 35/18

Fターム (8件)：

2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065CA23 ,  2G065CA25 ,  2G066BA08 ,  2G066BA51 ,  2G066BA53 ,  2G066BA55