特許

J-GLOBAL ID：200903087221818974

バッキングプレート及びスパッタリングターゲット-バッキングプレート組立体

発明者： 岡部 岳夫 ,  高橋 一成 ,  宮下 博仁
出願人/特許権者： 株式会社日鉱マテリアルズ
代理人 (1件)： 小越 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-145520
公開番号（公開出願番号）：特開2001-329362
出願日： 2000年05月17日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】【課題】 マグネットの回転によって生ずる渦電流の発生をできるだけ減少させ、マグネットの回転数の変動を抑制することによって、実効磁束の変動を抑制し、膜の均一性を高め、かつ成膜速度を上げ生産性を向上させる。【解決手段】 比抵抗値が3.0μΩ・cm以上であり、かつ引張り強度が150MPa以上である銅合金又はアルミニウム合金製バッキングプレート。

請求項（抜粋）：

比抵抗値が3.0μΩ・cm以上であり、かつ引張り強度が150MPa以上であることを特徴とする銅合金又はアルミニウム合金製バッキングプレート。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C22C 9/00 ,  C22C 9/04 ,  C22C 21/12

FI (4件)：

C23C 14/34 C ,  C22C 9/00 ,  C22C 9/04 ,  C22C 21/12

Fターム (12件)：

4K029BA03 ,  4K029BA08 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA21 ,  4K029BA23 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC21 ,  4K029DC22 ,  4K029DC45