特許
J-GLOBAL ID：200903087224101698
単結晶チップのガラス封止方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-016323
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225169
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】 単結晶チップを破壊することなく、ガラス封止し、耐環境性を向上させる。【構成】 単結晶チップのどの方向の熱膨張係数よりも、大きい熱膨張係数を有する高膨張結晶化ガラスで、単結晶チップの周囲を囲み、非結晶化ガラスで封止することにより、非結晶化ガラスの熱膨張の影響を単結晶チップに伝わらないようにする。
請求項（抜粋）：
単結晶チップを前記単結晶チップの各方向の熱膨張係数のうち少なくとも1方向の熱膨張係数よりも熱膨張係数が小さい封止ガラスでガラス封止するにあたり、前記単結晶チップの全方向の熱膨張係数よりも大きい熱膨張係数の結晶化ガラスで、単結晶チップと前記封止ガラスが接触する部分を区切り、かつ前記単結晶チップと前記結晶化ガラスを接着することなしに前記単結晶チップを前記結晶化ガラスで囲み、その上から前記封止ガラスを充填し、加熱焼成することを特徴とする単結晶チップのガラス封止方法。
IPC (2件)：
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