粘性物質の吐出のために複数ポンプ速度を実施する方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (11件)：岡部正夫 , 加藤伸晃 , 産形和央 , 臼井伸一 , 藤野育男 , 越智隆夫 , 本宮照久 , 高梨憲通 , 朝日伸光 , 高橋誠一郎 , 吉澤弘司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-079887
公開番号（公開出願番号）：特開2004-289158
出願日： 2004年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】線密度が著しく異なる粘性物質の複数のビードをより効率的に吐出するかまたは吐出量が著しく変動する粘性物質の複数の個別被着物をより効率的に吐出する方法を提供すること。【解決手段】移動する吐出器からの粘性物質の複数ビードを素子キャリヤ上に吐出する方法が、複数の異なるポンプ速度のそれぞれに流量などの出力特性の較正を与える工程と、ポンプ速度の1つおよびライン速度を粘性物質の複数のビードのそれぞれと関連づける工程と、粘性物質の各ビードを吐出するために対応するポンプ速度でポンプを運転しながら、吐出器を対応するライン速度で素子キャリヤに対して移動させる工程とを含む。各較正されたポンプに付随する出力特性は吐出された粘性物質の重量から決定することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体実装のために、複数ポンプ速度で粘性物質を供給できるポンプから送られる粘性物質を受け入れる移動可能な吐出要素からの粘性物質を吐出する粘性物質吐出装置の運転方法であって、ポンプから吐出要素に粘性物質を供給する第1のポンプ速度を選択する工程と、前記第1のポンプ速度における第1の出力特性から第1の吐出特性を決定する工程と、粘性物質を前記ポンプから前記吐出要素に供給する第2のポンプ速度を選択する工程と、前記第2のポンプ速度における第2の出力特性から第2の吐出特性を決定する工程とを含む方法。

IPC (2件)：

H01L21/56 , H01L21/60

FI (2件)：

H01L21/56 E , H01L21/60 311Q

Fターム (8件)：

5F044LL11 , 5F044RR19 , 5F061AA01 , 5F061BA03 , 5F061BA05 , 5F061CA04 , 5F061DA00 , 5F061DB00

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