特許
J-GLOBAL ID:200903087231600233

圧電型加速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-200924
公開番号(公開出願番号):特開2002-022761
出願日: 2000年07月03日
公開日(公表日): 2002年01月23日
要約:
【要約】【課題】 回路基板や圧電素子を収装するケースをリードピンによらずに取付基板に実装可能にして、小型で低コストの優れた圧電型加速度センサを提供すること。【解決手段】 回路基板12の一面側に平板形状の平面方向に分極処理を施した圧電素子11を直接実装して重り13を積み重ねると共にその表裏面に信号処理回路を形成し、その回路基板12の周縁部12aには、一面側を開口する箱型構造のキャップ部材22、23の端面22a、23aを導電性接着剤Bにより接合して一体封止構造のセラミックスパッケージに作製する。回路基板12には周縁部12aから側面に引出・延長する接続電極21を形成する一方、キャップ部材22にはその接続電極21に対応する部位の端面22aから側面を経て上面に至る延長電極24を形成する。
請求項(抜粋):
信号処理回路に接続されている圧電素子が加えられる加速度に応じた圧電信号を発生して前記加速度を検出する圧電型加速度センサであって、前記圧電素子および前記信号処理回路を収装して封止するケースを備え、前記圧電素子および前記信号処理回路を前記ケースを構成する部材上に構成して一体封止構造にしたことを特徴とする圧電型加速度センサ。
IPC (4件):
G01P 15/09 ,  G01P 15/08 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08
FI (4件):
G01P 15/09 ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/08 P ,  H01L 41/08 Z
Fターム (3件):
4M112AA02 ,  4M112BA10 ,  4M112CA42

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