窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-344922
公開番号（公開出願番号）：特開平7-172921
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：

【要約】【目的】AlN焼結体の粒成長を抑制し、焼結体組織を微細化するとともに結晶粒径分布を適正に制御して焼結体の強度ならびに破壊靭性値を共に改善し、窒化アルミニウム特有の放熱特性を損うことなく機械的強度および破壊靭性値を共に高めたAlN焼結体およびその製造方法を提供する。【構成】窒化アルミニウムの結晶粒から成る結晶組織を有し、破壊靭性値が2.8MN/m3/2 以上,3点曲げ強度が490MPa以上,熱伝導率が150W/m・K以上であることを特徴とする。また結晶組織において、粒径が1μm未満の結晶粒の割合が10容量%以下,粒径が1μm以上2μm未満の結晶粒の割合が10〜20容量%以下,粒径が2μm以上3μm未満の結晶粒の割合が10〜30容量%以下,粒径が3μm以上4μm未満の結晶粒の割合が30〜50容量%以下,粒径が4μm以上5μm未満の結晶粒の割合が5〜10容量%以下,粒径が5μm以上の結晶粒の割合が10容量%となるように結晶粒度分布が調整される。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムの結晶粒から成る結晶組織を有し、破壊靭性値が2.8MN/m3/2 以上,3点曲げ強度が490MPa以上,熱伝導率が150W/m・K以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。

FI (5件)：

C04B 35/58 104 Z , C04B 35/58 104 F , C04B 35/58 104 J , C04B 35/58 104 K , C04B 35/58 104 D

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開平4-357156
特開平4-357156
特開平3-174365

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