特許
J-GLOBAL ID：200903087249014340
少なくとも1つの方向に運動可能に配された位置決めテーブルの相対位置を求めるための測定装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
加藤 朝道
, 内田 潔人
, 三宅 俊男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-135561
公開番号（公開出願番号）：特開2006-317454
出願日： 2006年05月15日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】温度、気圧等の外部影響因子の変化等の生成にも拘わらず、高精度な(相対)位置測定を可能にする位置決めテーブルの相対位置を求めるための測定装置及び方法。【解決手段】干渉測定装置25、27は、少なくとも1つの波長を有するレーザ22のレーザ光によって作動可能に構成され、周囲影響因子に基づいた前記レーザ光の波長の変化を顧慮して前記測定結果を評価するために、干渉較正装置29、32が、前記位置決めテーブル18の位置決め運動中における前記レーザ光の実際に存在する(含まれる)波長を(帰納的に)導出することが可能な較正結果(複数)を生成するよう構成された測定装置において、前記干渉較正装置29、32は、前記干渉測定装置25、27に対し空間的に近接して配されること、及び前記空間的近接は、前記位置決めテーブル18の前記最大走行路(Xmax、Ymax)の予め設定可能な部分に相応することを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの方向において予め設定可能な最大走行路だけ運動可能に配された位置決めテーブル(18)の相対位置を求めるための測定装置であって、
少なくとも1つの干渉測定装置(25、27)及び少なくとも1つの干渉較正装置(29、32)を含むと共に、
1つの干渉測定装置(25、27)によって、1つの運動方向(X、Y)に沿った運動に関する前記位置決めテーブル(18)の相対位置(複数)を求めるための測定結果(複数)が生成可能に構成され、
干渉測定装置(25、27)は、少なくとも1つの波長を有するレーザ(22)のレーザ光によって作動可能に構成され、
周囲影響因子に基づいた前記レーザ光の波長の変化を顧慮して前記測定結果を評価するために、干渉較正装置(29、32)が、前記位置決めテーブル(18)の位置決め運動中における前記レーザ光の実際に存在する波長を導出することが可能な較正結果(複数)を生成するよう構成された
測定装置において、
前記干渉較正装置(29、32)は、前記干渉測定装置(25、27)に対し空間的に近接して配されること、及び
前記空間的近接は、前記位置決めテーブル(18)の前記最大走行路(Xmax、Ymax)の予め設定可能な部分に相応すること
を特徴とする測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 9/02
, G03F 7/20
, H01L 21/027
G01B11/00 G
, G01B9/02
, G03F7/20 521
, H01L21/30 503A
2F064AA02
, 2F064BB01
, 2F064DD02
, 2F064DD06
, 2F064DD09
, 2F064EE01
, 2F064FF01
, 2F064FF06
, 2F064GG12
, 2F064GG13
, 2F064GG22
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064GG41
, 2F064JJ05
, 2F065AA03
, 2F065AA06
, 2F065AA09
, 2F065BB15
, 2F065DD11
, 2F065EE01
, 2F065FF52
, 2F065FF55
, 2F065GG04
, 2F065GG22
, 2F065GG23
, 2F065HH08
, 2F065LL12
, 2F065LL32
, 2F065LL36
, 2F065LL46
, 2F065NN20
, 2F065PP12
, 2F065QQ25
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC16
