特許

J-GLOBAL ID：200903087256326802

走査電子顕微鏡装置

発明者： 門浦 弘明 ,  山本 豊
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-350011
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167891
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 試料を外部に取り出すことなく試料表面を連続的に変化させることができると共に,その表面状態を連続的に観察することができ,かつ試料の位置ズレを生ずることなく,表面状態を三次元観察することができる走査電子顕微鏡装置を提供すること。【解決手段】 観察しようとする試料を載置する試料台1を設けた試料室10と,上記試料に向けて入射電子をあてる電子銃3と,上記試料7の表面状態を検出する二次及び反射電子検出器41,42と,電子検出器からの信号により試料7の表面状態を画像表示する画像表示装置43とを有する。また,プラズマ化したガスを上記試料7に照射する照射ノズル21と,試料室10内の排ガスを排出する排気管51とを設けた。

請求項（抜粋）：

観察しようとする試料を載置する試料台を設けた試料室と,上記試料に向けて入射電子をあてる電子銃と,上記試料の表面状態を検出する二次及び反射電子検出器と,該電子検出器からの信号により試料の表面状態を画像表示する画像表示装置とを有する走査電子顕微鏡装置において,プラズマ化したガスを上記試料に照射する照射ノズルと,試料室内の排ガスを排出する排気管とを設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (2件)：

H01J 37/20 F ,  H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭59-143249
  
• 特開昭59-143249