特許
J-GLOBAL ID：200903087271401560
ECR型イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-037541
公開番号（公開出願番号）：特開平6-231712
出願日： 1993年02月02日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 絶縁碍子の内壁の汚れを効果的に防止してその耐圧が低下するまでの寿命を長くすると共に、引出し電極系と高圧側シールド筒との間で放電が起こりにくくしたECR型イオン源を提供する。【構成】 絶縁碍子26を2段として、両者の間にリング状の電極支持フランジ32を挟み、その内側に、高圧側シールド筒28および大地側シールド筒30よりも直径の小さい筒状の中間電極34を取り付けている。この中間電極34は、両シールド筒28、30と同軸状にかつ両シールド筒28、30との間に隙間をあけて、更にこれらの三者によって、絶縁碍子26の内壁がイオンビーム22から直接見えないような迷路構造を形成するように電極支持フランジ32に取り付けている。電極支持フランジ32と高電圧側のイオン源チャンバー12および大地電位側のフランジ部24との間には分圧抵抗36をそれぞれ接続している。
請求項（抜粋）：
マイクロ波を用いて内部にプラズマを発生させるプラズマ生成容器と、このプラズマ生成容器の開口部の外側近傍に設けられていて同プラズマ生成容器内のプラズマからイオンビームを引き出す引出し電極系と、前記プラズマ生成容器内にイオンビーム引き出し方向に磁場を発生させる磁気コイルと、前記プラズマ生成容器を収納しかつこの磁気コイルを支持する高電圧側のイオン源チャンバーと、大地電位側のフランジ部と、このフランジ部と前記イオン源チャンバーとの間を接続する筒状の絶縁碍子と、この絶縁碍子の内側に位置するように前記イオン源チャンバーおよびフランジ部にそれぞれ取り付けられた高圧側シールド筒および大地側シールド筒であって互いの間に隙間を有するものとを備えるECR型イオン源において、前記絶縁碍子を2段として両者の間にリング状の電極支持フランジを挟み、この電極支持フランジの内側に前記高圧側シールド筒および大地側シールド筒よりも直径の小さい筒状の中間電極を、両シールド筒と同軸状にかつ両シールド筒との間に隙間をあけて、しかもこの中間電極および両シールド筒の三者によって、絶縁碍子の内壁がイオンビームから直接見えないような迷路構造を形成するように取り付け、かつ前記電極支持フランジと前記イオン源チャンバーおよびフランジ部との間に分圧抵抗をそれぞれ接続したことを特徴とするECR型イオン源。
IPC (2件)：
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