特許
J-GLOBAL ID：200903087274109193
磁気記録媒体の製造装置と製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-158620
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215371
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 両面を同一真空容器内で続けてスパッタできるようにした装置で、フィルムの両面に磁性膜を形成した、製造時間の短縮と品質を向上した、即ち、生産性を向上させた磁気記録媒体の製造装置と製造方法を供することにある。【構成】 1つの真空容器中にキャンが2個以上と、その両側に長尺のフィルム2の送り出しロール3と巻き取りロール8が設けられ、それらのキャン11、12の間に設けたピンチロール13によって、長尺のフィルム2が一定速度で搬送され、各々のキャン上のフィルム2のテンションが独立に制御された状態で、スパッタあるいは蒸着等により、フィルム2の各面に連続して磁性膜を形成してなる磁気記録媒体の製造装置で、フィルム2にテンションを印加する為のロールの回転速度と回転トルクの関係が、正の関係を持つロール駆動装置を有する磁気記録媒体の製造装置、及び、前記装置を用いて製造する磁気記録媒体の製造方法。
請求項（抜粋）：
1つの真空容器中にキャンが2個以上と、その両側に長尺のフィルムを送り出す送り出しロールと収納する巻き取りロールが設けられ、それらのキャンの間に設けたピンチロールによって、長尺フィルムが一定速度で搬送され、各々のキャン上のフィルムのテンションが独立に制御された状態で、スパッタあるいは蒸着によりフィルム上に磁性膜を形成してなる磁気記録媒体の製造方法において、フィルムの搬送方向にテンションを印加する為のロールの回転速度と回転トルクの関係が、少なくとも制御範囲において、正の関係を持つロール駆動装置を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
IPC (2件)：
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