特許

J-GLOBAL ID：200903087274192694

水系前駆体溶液からのニオブ酸リチウム薄膜及びチタン固溶ニオブ酸リチウム薄膜の作成方法

発明者： 小野 さとみ
出願人/特許権者： 名古屋市
代理人 (1件)： 寺田 仁計
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269546
公開番号（公開出願番号）：特開平9-086931
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【目的】 所定量のエトキシリチウム、ペンタエトキシニオブ及びテトラエトキシチタンの金属アルコキシドの複合アルキシド溶液を調製し、完全に加水分解した後得た沈殿を水に溶解させて水系前駆体溶液を調製する。この水系前駆体溶液をコ-ティング溶液として基板上に塗布し加熱処理することにより、緻密で均質な結晶性の優れたニオブ酸リチウム薄膜及びチタン固溶ニオブ酸リチウム薄膜を作成する。

請求項（抜粋）：

等モル量のリチウムエトキシドとニオブエトキシドを無水エタノール中で還流することにより複合アルコキシド溶液を調製する第1工程、前記複合アルコキシド溶液に脱炭酸水を加えて還流する第2工程、第2工程で得られた沈殿物を脱炭酸水に溶解させて水系前駆体溶液を調製する第3工程、前記水系前駆体溶液を基板上に塗布してゲル薄膜を作成し、さらに200°C〜600°Cで加熱処理する第4工程からなるニオブ酸リチウム薄膜の作成方法。

IPC (6件)：

C01G 33/00 ,  C30B 5/00 ,  C30B 29/30 ,  G02B 6/13 ,  G02F 1/03 501 ,  G02F 1/35 505

FI (6件)：

C01G 33/00 A ,  C30B 5/00 ,  C30B 29/30 A ,  G02F 1/03 501 ,  G02F 1/35 505 ,  G02B 6/12 M